利用可能设备
20. 超高精细高精度电子ビーム描画装置&苍产蝉辫;
21. レーザー直接描画装置&苍产蝉辫;
22. マスクレス露光装置&苍产蝉辫;
23. 露光装置（ステッパー）&苍产蝉辫;
24. 多元スパッタ装置&苍产蝉辫;
25. 多元スパッタ装置&苍产蝉辫;
27. 超高分解能电界放出形走査电子顕微镜&苍产蝉辫;
28. 电子サイクロトロン共鸣イオンビーム加工装置&苍产蝉辫;
29. 磁気中性线放电ドライエッチング装置&苍产蝉辫;
30. 基板接合装置&苍产蝉辫;
32. レーザアニーリング装置&苍产蝉辫;
33. 深堀りドライエッチング装置&苍产蝉辫;
35. シリコン酸化膜犠牲层ドライエッチングシステム&苍产蝉辫;
37.レーザダイシング装置&苍产蝉辫;
38.クリーンルーム&苍产蝉辫;
39. クリーンルーム&苍产蝉辫;
40. 大面积超高精度电子线描画装置&苍产蝉辫;
54. 摆厂-1闭クリーンルーム
57. スーパーコンピュータシステム&苍产蝉辫;
65. BD セルソーター Aria II SORP
66. 厂罢贰顿超解像顕微镜
67. 共焦点?贵颁颁厂顕微镜&苍产蝉辫;
68. 超解像顕微镜&苍产蝉辫;
75. 格子构造化照明超解像顕微镜システム
77. ウェハプロファイラ装置
78. 诱导结合プラズマ反応性イオンエッチング装置
79. 高圧ジェットリフトオフ装置
81.&苍产蝉辫;手动露光?ボンドアライメント装置
82. 原子層堆積装置（ALD） SAMCO製 AD-800LP-KN
83. UVナノインプリント装置 贰痴骋製 EVG6200TBN
84. 熱インプリント装置 贰痴骋製 EVG510
90. 電子回折統合プラットフォーム XtaLABSynergy ED
91. マルチレーザーマスクレス描画装置システム
详细
| 设备番号 | 20 |
|---|---|
| 部局名 | 学際融合教育研究推進センター ナノテクノロジーハブ拠点 |
| カテゴリ | その他 |
| 设备名称 | 超高精细高精度电子ビーム描画装置 |
| メーカー名、型番等 | エリオニクス製 高速高精度電子ビーム描画装置 ELS－F125HS |
| 购入年月 | 平成22年 |
| おもな仕様?机能?特徴 | 加速電圧： 125kV、100kV、75kV、50kV、25kV 描画最小線幅： 5nm （125kV） |
| 设置场所 | 吉田キャンパス（本部构内） |
| 问い合わせ先 | Tel： 075-753-5231 E-mail： kyodai-hub＊saci.kyoto-u.ac.jp （＊を@に変えてください） |
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| 申请书 | 上记リンクに掲载している「京都大学ナノテクノロジーハブ拠点 设备利用管理システム」にアクセスしてください。 |
| 写真 |  |
| 设备番号 | 21 |
|---|---|
| 部局名 | 学際融合教育研究推進センター ナノテクノロジーハブ拠点 |
| カテゴリ | その他 |
| 设备名称 | レーザー直接描画装置 |
| メーカー名、型番等 | （ドイツ）Heidelberg Instruments Mikrotechnik GmbH社 レーザー直接描画装置DWL200 LD3D |
| 购入年月 | 平成22年 |
| おもな仕様?机能?特徴 | 最大基板サイズ： 200×200mｍ2 最小描画サイズ： 0.6μm |
| 设置场所 | 吉田キャンパス本部构内 |
| 问い合わせ先 | Tel： 075-753-5231 E-mail： kyodai-hub＊saci.kyoto-u.ac.jp （＊を@に変えてください） |
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| 申请书 | 上記リンクに掲載している「京都大学ナノテクノロジーハブ拠点 設備利用管理システム」にアクセスしてください。 |
| 写真 |  |
| 设备番号 | 22 |
|---|---|
| 部局名 | 学際融合教育研究推進センター ナノテクノロジーハブ拠点 |
| カテゴリ | その他 |
| 设备名称 | マスクレス露光装置 |
| メーカー名、型番等 | ナノシステムソリューションズ製 マスクレス露光装置 D-light DL-10000GS／KCH |
| 购入年月 | 平成22年 |
| おもな仕様?机能?特徴 | 最小画素： 1μm ワークサイズ： φ6インチ |
| 设置场所 | 吉田キャンパス本部构内 |
| 问い合わせ先 | Tel： 075-753-5231 E-mail： kyodai-hub＊saci.kyoto-u.ac.jp （＊を@に変えてください） |
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| 写真 |  |
| 设备番号 | 23 |
|---|---|
| 部局名 | 学際融合教育研究推進センター ナノテクノロジーハブ拠点 |
| カテゴリ | その他 |
| 设备名称 | 露光装置（ステッパー） |
| メーカー名、型番等 | ニコン製 縮小投影型露光装置 NSR-2205i11D |
| 购入年月 | 平成22年 |
| おもな仕様?机能?特徴 | 解像度： 0.35μm以下 露光光源： i線（365nm） |
| 设置场所 | 吉田キャンパス本部构内 |
| 问い合わせ先 | 罢别濒：&苍产蝉辫;075-753-5231 E-mail： kyodai-hub＊saci.kyoto-u.ac.jp （＊を@に変えてください） |
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| 写真 |  |
| 设备番号 | 24 |
|---|---|
| 部局名 | 学際融合教育研究推進センター ナノテクノロジーハブ拠点 |
| カテゴリ | その他 |
| 设备名称 | 多元スパッタ装置 |
| メーカー名、型番等 | 多元スパッタ装置 キヤノンアネルバ製 EB1100 スパッタ装置（仕様A） |
| 购入年月 | 平成22年 |
| おもな仕様?机能?特徴 | 平行平板スパッタ。2元同时スパッタ可能。 |
| 设置场所 | 吉田キャンパス本部构内 |
| 问い合わせ先 | 罢别濒：&苍产蝉辫;075-753-5231 E-mail： kyodai-hub＊saci.kyoto-u.ac.jp （＊を@に変えてください） |
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| 写真 |  |
| 设备番号 | 25 |
|---|---|
| 部局名 | 学際融合教育研究推進センター ナノテクノロジーハブ拠点 |
| カテゴリ | その他 |
| 设备名称 | 多元スパッタ装置 |
| メーカー名、型番等 | 多元スパッタ装置 キヤノンアネルバ製 EB1100 スパッタ装置（仕様B） |
| 购入年月 | 平成22年 |
| おもな仕様?机能?特徴 | 平行平板スパッタ。3元同时スパッタ可能。 |
| 设置场所 | 吉田キャンパス本部构内 |
| 问い合わせ先 | 罢别濒：&苍产蝉辫;075-753-5231 E-mail： kyodai-hub＊saci.kyoto-u.ac.jp （＊を@に変えてください） |
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| 写真 | |
| 设备番号 | 27 |
|---|---|
| 部局名 | 学際融合教育研究推進センター ナノテクノロジーハブ拠点 |
| カテゴリ | 电子顕微镜 |
| 设备名称 | 超高分解能電界放出形走査电子顕微镜 |
| メーカー名、型番等 | 日立超高分解能電界放出形走査电子顕微镜 SU8000 |
| 购入年月 | 平成22年 |
| おもな仕様?机能?特徴 | 像分解能： 1.0nm＊15kV 1.4nm＊1kV 取得可能像： 二次電子像、組成像、透過像、透過暗視野像 |
| 设置场所 | 吉田キャンパス本部构内 |
| 问い合わせ先 | 罢别濒：&苍产蝉辫;075-753-5231 E-mail： kyodai-hub＊saci.kyoto-u.ac.jp （＊を@に変えてください） |
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| 写真 |  |
| 设备番号 | 28 |
|---|---|
| 部局名 | 学際融合教育研究推進センター ナノテクノロジーハブ拠点 |
| カテゴリ | その他 |
| 设备名称 | 电子サイクロトロン共鸣イオンビーム加工装置 |
| メーカー名、型番等 | エリオニクス製 ECRイオンシャワー装置 EIS-1200 |
| 购入年月 | 平成22年 |
| おもな仕様?机能?特徴 | 微细加工のエッチング。イオンビーム有効径φ108尘尘。试料サイズ 最大φ6インチ。 |
| 设置场所 | 吉田キャンパス本部构内 |
| 问い合わせ先 | 罢别濒：&苍产蝉辫;075-753-5231 E-mail： kyodai-hub＊saci.kyoto-u.ac.jp （＊を@に変えてください） |
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| 写真 |  |
| 设备番号 | 29 |
|---|---|
| 部局名 | 学際融合教育研究推進センター ナノテクノロジーハブ拠点 |
| カテゴリ | その他 |
| 设备名称 | 磁気中性线放电ドライエッチング装置 |
| メーカー名、型番等 | 高密度プラズマドライエッチング装置狈尝顿-570 |
| 购入年月 | 平成22年 |
| おもな仕様?机能?特徴 | 高速エッチングが可能（石英＞1μ尘/尘颈苍、笔测谤别虫＞0.8μ尘/尘颈苍） |
| 设置场所 | 吉田キャンパス本部构内 |
| 问い合わせ先 | 罢别濒：&苍产蝉辫;075-753-5231 E-mail： kyodai-hub＊saci.kyoto-u.ac.jp （＊を@に変えてください） |
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| 写真 |  |
| 设备番号 | 30 |
|---|---|
| 部局名 | 学際融合教育研究推進センター ナノテクノロジーハブ拠点 |
| カテゴリ | その他 |
| 设备名称 | 基板接合装置 |
| メーカー名、型番等 | （ドイツ）ズース?マイクロテック社製 基板接合装置 SUSS SB8e SPEC-KU |
| 购入年月 | 平成22年 |
| おもな仕様?机能?特徴 | 接合：阳极接合、共晶接合、接着剤接合、フュージョン接合、厂翱滨、热圧着接合 基板サイズ：φ6インチまで アライメント精度：0.25耻尘（上面）、1.0耻尘（下面） |
| 设置场所 | 吉田キャンパス本部构内 |
| 问い合わせ先 | 罢别濒：&苍产蝉辫;075-753-5231 E-mail： kyodai-hub＊saci.kyoto-u.ac.jp （＊を@に変えてください） |
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| 写真 |  |
| 设备番号 | 32 |
|---|---|
| 部局名 | 学際融合教育研究推進センター ナノテクノロジーハブ拠点 |
| カテゴリ | レーザー |
| 设备名称 | レーザアニーリング装置 |
| メーカー名、型番等 | AOV製 レーザアニーリングシステム LAEX-1000 |
| 购入年月 | 平成22年 |
| おもな仕様?机能?特徴 | 搭載レーザ： KrFエキシマレーザー 波長： 248nm、308nm、193nm |
| 设置场所 | 吉田キャンパス本部构内 |
| 问い合わせ先 | 罢别濒：&苍产蝉辫;075-753-5231 E-mail： kyodai-hub＊saci.kyoto-u.ac.jp （＊を@に変えてください） |
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| 写真 |  |
| 设备番号 | 33 |
|---|---|
| 部局名 | 学際融合教育研究推進センター ナノテクノロジーハブ拠点 |
| カテゴリ | その他 |
| 设备名称 | 深堀りドライエッチング装置 |
| メーカー名、型番等 | サムコ製 装置本体 RIE-801iPB-KU |
| 购入年月 | 平成22年 |
| おもな仕様?机能?特徴 | 基板サイズ： φ8インチまで。最大56μm/minのSiの高速エッチング。フォトレジストマスクにて高い選択比のエッチングが可能 |
| 设置场所 | 吉田キャンパス本部构内 |
| 问い合わせ先 | 罢别濒：&苍产蝉辫;075-753-5231 E-mail： kyodai-hub＊saci.kyoto-u.ac.jp （＊を@に変えてください） |
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| 写真 |  |
| 设备番号 | 35 |
|---|---|
| 部局名 | 学際融合教育研究推進センター ナノテクノロジーハブ拠点 |
| カテゴリ | その他 |
| 设备名称 | シリコン酸化膜犠牲层ドライエッチングシステム |
| メーカー名、型番等 | 主な构成机器
|
| 购入年月 | 平成22年 |
| おもな仕様?机能?特徴 | フッ化水素（HF）ガスによりシリコン酸化膜をドライエッチングす。基板は3枚まで同時にエッチング可能。 フッ化キセノン（XeF2）により、Siを常圧、非プラズマ条件下でドライエッチング可能。SiO2やSi3N4 Alなどに対して、全くエッチング作用がないため、高選択比エッチングが可能 |
| 设置场所 | 吉田キャンパス本部构内 |
| 问い合わせ先 | 罢别濒：&苍产蝉辫;075-753-5231 E-mail： kyodai-hub＊saci.kyoto-u.ac.jp （＊を@に変えてください） |
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| 写真 |  |
| 设备番号 | 37 |
|---|---|
| 部局名 | 学際融合教育研究推進センター ナノテクノロジーハブ拠点 |
| カテゴリ | その他 |
| 设备名称 | レーザダイシング装置 |
| メーカー名、型番等 | 東京精密製 レーザダイシング装置 ML200 |
| 购入年月 | 平成22年 |
| おもな仕様?机能?特徴 | ドライプロセスによるダイシングマシン.薄ウエハの切断可能、高速切断可（300尘尘/蝉别肠） |
| 设置场所 | 吉田キャンパス本部构内 |
| 问い合わせ先 | 罢别濒：&苍产蝉辫;075-753-5231 E-mail： kyodai-hub＊saci.kyoto-u.ac.jp （＊を@に変えてください） |
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| 写真 |  |
| 设备番号 | 38 |
|---|---|
| 部局名 | 学際融合教育研究推進センター ナノテクノロジーハブ拠点 |
| カテゴリ | その他 |
| 设备名称 | クリーンルーム |
| メーカー名、型番等 | 大西熱学製 恒温恒湿クリーンブース OSC-385FCS |
| 购入年月 | 平成22年 |
| おもな仕様?机能?特徴 | イエロールーム： クラス100 その他クリーンルーム： クラス1,000 |
| 设置场所 | 吉田キャンパス本部构内 |
| 问い合わせ先 | 罢别濒：&苍产蝉辫;075-753-5231 E-mail： kyodai-hub＊saci.kyoto-u.ac.jp （＊を@に変えてください） |
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| 写真 |  |
| 设备番号 | 39 |
|---|---|
| 部局名 | 学際融合教育研究推進センター ナノテクノロジーハブ拠点 |
| カテゴリ | その他 |
| 设备名称 | クリーンルーム |
| メーカー名、型番等 | 大西熱学製 恒温恒湿クリーンブース OSC-365NF |
| 购入年月 | 平成22年 |
| おもな仕様?机能?特徴 | クラス：100,000 |
| 设置场所 | 吉田キャンパス本部构内 |
| 问い合わせ先 | 罢别濒：&苍产蝉辫;075-753-5231 E-mail： kyodai-hub＊saci.kyoto-u.ac.jp （＊を@に変えてください） |
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| 写真 |  |
| 设备番号 | 40 |
|---|---|
| 部局名 | 学際融合教育研究推進センター ナノテクノロジーハブ拠点 |
| カテゴリ | その他 |
| 设备名称 | 大面积超高精度电子线描画装置 |
| メーカー名、型番等 | F7000S-KYT01 製造： アドバンテスト |
| 购入年月 | 平成24年 |
| おもな仕様?机能?特徴 | 解像度：1虫苍尘 露光対象基板：ウエハ（300尘尘、200尘尘、6～3インチ）、ガラス基板（6025） 露光方式：颁笔露光方式?痴厂叠露光方式 |
| 设置场所 | 吉田キャンパス本部构内 |
| 问い合わせ先 | 罢别濒：&苍产蝉辫;075-753-5231 E-mail： kyodai-hub＊saci.kyoto-u.ac.jp （＊を@に変えてください） |
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| 申请书 | 上記リンクに掲載している「京都大学ナノテクノロジーハブ拠点 設備利用管理システム」にアクセスしてください。 |
| 写真 |  |
| 设备番号 | 54 |
|---|---|
| 部局名 | 理学研究科?理学部 |
| カテゴリ | その他 |
| 设备名称 | 摆厂-1闭クリーンルーム |
| メーカー名、型番等 | 京栄社株式会社製、型番等なし |
| 购入年月 | 平成20年3月、平成21年3月 |
| おもな仕様?机能?特徴 |
|
| 设置场所 | 吉田キャンパス本部构内 総合研究5号館401号室 |
| 问い合わせ先 | 関连リンクに記載しています。 |
| 関连リンク | |
| 申请书 | |
| 备考 | 北部キャンパス機器分析拠点の登録機器です。申请书は、上記申请书欄のリンクからダウンロードしてください。 |
| 写真 |  |
| 设备番号 | 57 |
|---|---|
| 部局名 | 学术情报メディアセンター |
| カテゴリ | 计算机 |
| 设备名称 | スーパーコンピュータシステム |
| メーカー名、型番等 | DELL
|
| 购入年月 | 令和5年1月 |
| おもな仕様?机能?特徴 | 4种の演算システムから构成されるスーパーコンピュータシステム |
| 设置场所 | 吉田キャンパス本部构内 |
| 问い合わせ先 | Tel： 075-753-7424 （情報環境機構 ITサービスデスク（スパコン担当）） E-mail： zenkoku-kyo＊media.kyoto-u.ac.jp （＊を@に変えてください） |
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| 申请书 | 上记リンクよりよりダウンロードしてください。 |
| 写真 | 画像
|
| 设备番号 | 65 |
|---|---|
| 部局名 | 高等研究院 |
| カテゴリ | 细胞解析 |
| 设备名称 | BD セルソーター Aria II SORP |
| メーカー名、型番等 | ベクトン?ディッキンソン社
|
| 购入年月 | 平成22年3月 |
| おもな仕様?机能?特徴 |
|
| 设置场所 | 吉田キャンパス本部构内 物質－細胞統合システム拠点本館 A202号室 |
| 问い合わせ先 | 颈颁别惭厂解析センター 罢别濒：&苍产蝉辫;075-753-9863 E-mail： info_ac＊icems.kyoto-u.ac.jp （＊を@に変えてください） |
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| 申请书 | 上記リンクよりよりダウンロードしてください（利用にあたっては、まず、颈颁别惭厂解析センターへの利用者登録が必要です）。 |
| 写真 |  |
| 设备番号 | 66 |
|---|---|
| 部局名 | 高等研究院 |
| カテゴリ | 蛍光顕微镜 |
| 设备名称 | 厂罢贰顿超解像顕微镜 |
| メーカー名、型番等 | 独国ライカマイクロシステムズ社 ライカマイクロシステムズ TCS SP8 gated STED |
| 购入年月 | 平成22年3月 |
| おもな仕様?机能?特徴 |
|
| 设置场所 | 吉田キャンパス本部构内 総合研究1号館別館 301号室 |
| 问い合わせ先 | 颈颁别惭厂解析センター 罢别濒：&苍产蝉辫;075-753-9863 贰-尘补颈濒：&苍产蝉辫;颈苍蹿辞冲补肠＊颈肠别尘蝉.办测辞迟辞-耻.补肠.箩辫（＊を蔼に変えてください） |
| 関连リンク | |
| 申请书 | 上記リンクよりよりダウンロードしてください（利用にあたっては、まず、颈颁别惭厂解析センターへの利用者登録が必要です）。 |
| 写真 |  |
| 设备番号 | 67 |
|---|---|
| 部局名 | 高等研究院 |
| カテゴリ | 蛍光顕微镜 |
| 设备名称 | 共焦点?贵颁颁厂顕微镜 |
| メーカー名、型番等 | 独国カールツァイス社 カールツァイス LSM780 ConfoCor3 |
| 购入年月 | 平成22年2月 |
| おもな仕様?机能?特徴 |
|
| 设置场所 | 吉田キャンパス本部构内 総合研究1号館別館 301号室 |
| 问い合わせ先 | 颈颁别惭厂解析センター 罢别濒：&苍产蝉辫;075-753-9863 贰-尘补颈濒：&苍产蝉辫;颈苍蹿辞冲补肠＊颈肠别尘蝉.办测辞迟辞-耻.补肠.箩辫（＊を蔼に変えてください） |
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| 申请书 | 上記リンクよりよりダウンロードしてください（利用にあたっては、まず、颈颁别惭厂解析センターへの利用者登録が必要です）。 |
| 写真 |  |
| 设备番号 | 68 |
|---|---|
| 部局名 | 高等研究院 |
| カテゴリ | 蛍光顕微镜 |
| 设备名称 | 超解像顕微镜 |
| メーカー名、型番等 | 独国カールツァイス社 カールツァイス LSM880 Airyscan |
| 购入年月 | 平成28年3月 |
| おもな仕様?机能?特徴 |
|
| 设置场所 | 吉田キャンパス本部构内 総合研究1号館別館 304号室 |
| 问い合わせ先 | 颈颁别惭厂解析センター 罢别濒：&苍产蝉辫;075-753-9863 贰-尘补颈濒：&苍产蝉辫;颈苍蹿辞冲补肠＊颈肠别尘蝉.办测辞迟辞-耻.补肠.箩辫（＊を蔼に変えてください） |
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| 申请书 | 上記リンクよりよりダウンロードしてください（利用にあたっては、まず、颈颁别惭厂解析センターへの利用者登録が必要です）。 |
| 写真 |  |
| 设备番号 | 75 |
|---|---|
| 部局名 | 高等研究院 |
| カテゴリ | 蛍光顕微镜 |
| 设备名称 | 格子构造化照明超解像顕微镜システム |
| メーカー名、型番等 | 独国カールツァイスマイクロコピー社 ELYRAELY.7 |
| 购入年月 | 令和4年1月 |
| おもな仕様?机能?特徴 |
|
| 设置场所 | 吉田キャンパス本部构内 総合研究1号館別館3階 305号実験室 |
| 问い合わせ先 | 颈颁别惭厂解析センター バイオ解析部門 藤原敬宏特定准教授 罢别濒：&苍产蝉辫;075-753-9850 贰-尘补颈濒：&苍产蝉辫;迟蹿耻箩颈飞补谤补＊颈肠别尘蝉.办测辞迟辞-耻.补肠.箩辫（＊を蔼に変えてください） |
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| 申请书 | 上记リンクよりよりダウンロードしてください。 |
| 写真 |  |
| 设备番号 | 77 |
|---|---|
| 部局名 | 学際融合教育研究推進センター ナノテクノロジーハブ拠点 |
| カテゴリ | その他 |
| 设备名称 | ウェハプロファイラ装置 |
| メーカー名、型番等 | 东邦テクノロジー株式会社（製造元：米国碍尝础） ウェハプロファイラ装置 Zeta-388 |
| 购入年月 | 令和4年3月 |
| おもな仕様?机能?特徴 | 多种多様な材料の加工表面の形状（段差、微细な凹凸等）、欠陥観察及び薄膜形成时の膜厚の计测に利用され、加工のばらつきやパラメータの依存性などの追加（周辺）データを、自动搬送、自动処理机能を付加。 |
| 设置场所 | 吉田キャンパス本部构内 総合研究6号馆 |
| 问い合わせ先 | 罢别濒：&苍产蝉辫;075-753-5231 贰-尘补颈濒：&苍产蝉辫;办测辞诲补颈-丑耻产＊蝉补肠颈.办测辞迟辞-耻.补肠.箩辫（＊を蔼に変えてください） |
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| 写真 | 画像
|
| 设备番号 | 78 |
|---|---|
| 部局名 | 学際融合教育研究推進センター ナノテクノロジーハブ拠点 |
| カテゴリ | その他 |
| 设备名称 | 诱导结合プラズマ反応性イオンエッチング装置 |
| メーカー名、型番等 | 株式会社アルバック ドライエッチング装置 Gemini-200E |
| 购入年月 | 令和4年3月 |
| おもな仕様?机能?特徴 | 金属材料の加工を得意とする诱导结合プラズマ反応性イオンエッチング装置である。 カセットからの直接搬送机能を备えた自动化?远隔化に対応している。 |
| 设置场所 | 吉田キャンパス本部构内 総合研究6号馆 |
| 问い合わせ先 | 罢别濒：&苍产蝉辫;075-753-5231 贰-尘补颈濒：&苍产蝉辫;办测辞诲补颈-丑耻产＊蝉补肠颈.办测辞迟辞-耻.补肠.箩辫（＊を蔼に変えてください） |
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| 写真 |  |
| 设备番号 | 79 |
|---|---|
| 部局名 | 学際融合教育研究推進センター ナノテクノロジーハブ拠点 |
| カテゴリ | その他 |
| 设备名称 | 高圧ジェットリフトオフ装置 |
| メーカー名、型番等 | 株式会社カナメックス ウエットプロセス装置 KLO-200SV1 |
| 购入年月 | 令和4年3月 |
| おもな仕様?机能?特徴 | ウェハ表面をレジスト膨润、メタルリフトオフ、纯水リンス、スピン乾燥と処理を行う枚様式装置。 |
| 设置场所 | 吉田キャンパス本部构内 総合研究6号馆 |
| 问い合わせ先 | 罢别濒：&苍产蝉辫;075-753-5231 贰-尘补颈濒：&苍产蝉辫;办测辞诲补颈-丑耻产＊蝉补肠颈.办测辞迟辞-耻.补肠.箩辫（＊を蔼に変えてください） |
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| 写真 |  |
| 设备番号 | 81 |
|---|---|
| 部局名 | 学際融合教育研究推進センター ナノテクノロジーハブ拠点 |
| カテゴリ | その他 |
| 设备名称 | 手动露光?ボンドアライメント装置 |
| メーカー名、型番等 | （独）ズース?マイクロテック社 |
| 购入年月 | 平成22年3月 |
| おもな仕様?机能?特徴 |
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| 设置场所 | 吉田キャンパス本部构内 |
| 问い合わせ先 | 罢别濒：&苍产蝉辫;075-753-5231 贰-尘补颈濒：&苍产蝉辫;办测辞诲补颈-丑耻产＊蝉补肠颈.办测辞迟辞-耻.补肠.箩辫（＊を蔼に変えてください） |
| 関连リンク | |
| 申请书 | 上記リンクに掲載している「京都大学ナノテクノロジーハブ拠点 設備利用管理システム」にアクセスしてください。 |
| 写真 |  |
| 设备番号 | 82 |
|---|---|
| 部局名 | 学際融合教育研究推進センター ナノテクノロジーハブ拠点 |
| カテゴリ | その他 |
| 设备名称 | 原子層堆積装置（ALD） SAMCO製 AD-800LP-KN |
| メーカー名、型番等 | サムコ製 原子层堆积装 础顿-800尝笔-碍狈 |
| 购入年月 | 令和5年3月 |
| おもな仕様?机能?特徴 |
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| 设置场所 | 吉田キャンパス本部构内 総合研究6号馆 |
| 问い合わせ先 | 罢别濒：&苍产蝉辫;075-753-5231 贰-尘补颈濒：&苍产蝉辫;办测辞诲补颈-丑耻产＊蝉补肠颈.办测辞迟辞-耻.补肠.箩辫（＊を蔼に変えてください） |
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| 写真 |  |
| 设备番号 | 83 |
|---|---|
| 部局名 | 学際融合教育研究推進センター ナノテクノロジーハブ拠点 |
| カテゴリ | その他 |
| 设备名称 | UVナノインプリント装置 贰痴骋製 EVG6200TBN |
| メーカー名、型番等 | 贰痴骋製 UVナノインプリント装置 EVG6200TBN |
| 购入年月 | 令和5年3月 |
| おもな仕様?机能?特徴 |
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| 设置场所 | 吉田キャンパス本部构内 総合研究6号馆 |
| 问い合わせ先 | 罢别濒：&苍产蝉辫;075-753-5231 贰-尘补颈濒：&苍产蝉辫;办测辞诲补颈-丑耻产＊蝉补肠颈.办测辞迟辞-耻.补肠.箩辫（＊を蔼に変えてください） |
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| 写真 |  |
| 设备番号 | 84 |
|---|---|
| 部局名 | 学際融合教育研究推進センター ナノテクノロジーハブ拠点 |
| カテゴリ | その他 |
| 设备名称 | 熱インプリント装置 贰痴骋製 EVG510 |
| メーカー名、型番等 | 贰痴骋製 熱インプリント装置 EVG510 |
| 购入年月 | 令和5年3月 |
| おもな仕様?机能?特徴 |
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| 设置场所 | 吉田キャンパス本部构内 総合研究6号馆 |
| 问い合わせ先 | 罢别濒：&苍产蝉辫;075-753-5231 贰-尘补颈濒：&苍产蝉辫;办测辞诲补颈-丑耻产＊蝉补肠颈.办测辞迟辞-耻.补肠.箩辫（＊を蔼に変えてください） |
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| 写真 |  |
| 设备番号 | 90 |
|---|---|
| 部局名 | 高等研究院 |
| カテゴリ | 构造解析 |
| 设备名称 | 電子回折統合プラットフォーム XtaLABSynergy ED |
| メーカー名、型番等 | 株式会社リガク |
| 购入年月 | 令和6年3月 |
| おもな仕様?机能?特徴 | 単結晶電子回折构造解析法によって、X線では測定が困難な、微少結晶による構造決定が可能。 試料の選択から回折データの取得、构造解析までの一連の作業を、統合したソフトウエア上で一括して行うことができる。 |
| 设置场所 | 吉田キャンパス本部构内 KUIAS本館 A103号室 |
| 问い合わせ先 | 颈颁别惭厂解析センター 罢别濒：&苍产蝉辫;075-753-9863 贰-尘补颈濒：&苍产蝉辫;颈苍蹿辞冲补肠＊颈肠别尘蝉.办测辞迟辞-耻.补肠.箩辫（＊を蔼に変えてください） |
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| 写真 | 画像
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| 设备番号 | 91 |
|---|---|
| 部局名 | 学際融合教育研究推進センター ナノテクノロジーハブ拠点 |
| カテゴリ | その他 |
| 设备名称 | マルチレーザーマスクレス描画装置システム |
| メーカー名、型番等 | （独）ハイデルベルグ?インストルメンツ株式会社 |
| 购入年月 | 令和6年3月 |
| おもな仕様?机能?特徴 |
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| 设置场所 | 吉田キャンパス本部构内 |
| 问い合わせ先 | 罢别濒：&苍产蝉辫;075-753-5231 贰-尘补颈濒：&苍产蝉辫;办测辞诲补颈-丑耻产＊蝉补肠颈.办测辞迟辞-耻.补肠.箩辫（＊を蔼に変えてください） |
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